无尘室，也称洁净室，是指一个具有低污染水平的，这里所指的污染来源有灰尘，空气的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个洁净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用大颗粒大小来厘定的。低级别的洁净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气的灰尘。无尘室的定义：空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的。亦即：这个中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。洁净区部分高效过滤器进行更换时，用干净的抹布清洁高效过滤器的静压箱，然后，打开高效过滤器内包装，将密封条粘贴到高效过滤器的进风侧，平稳的把高效过滤器放入静压箱内，搬运时一定注意轻拿轻放，并记录高效过滤器规格型号、编号及安装。固定过滤器时，先检查过滤器在静压箱的中间，过滤器与静压箱四周离距相当，固定件应对角固定，防止受力不均或损坏过滤器。静压箱内固定螺母应旋紧，使高效过滤器与静压箱之间的连接吻合且密封。然后空调机组，对系统进行通风后，打开高效过滤器内包装，按以上步骤进行更换。装好高效过滤器后，运行系统，检查有无漏风。当发现有漏风时，应做如下处理：紧固固定件或更换密封条并重新安装，高效过滤器本身漏风，则需要更换新的高效过滤器。接下来，安装高效过滤器面板，安装时，按原标记好的方向安装，面板与顶棚的连接处尽量减少空隙，防止灰尘积聚。高效过滤器安装后，应重新进行检测，并做验证，为下次确定高效过滤器报废提供可靠的依据。电子行业无尘车间是无尘车间行业中常见，也是无尘车间普及的行业，我们以电子车间净化为例，看看温湿度控制的重要性。
洁净技术和装备的国际市场十分巨大，日本到80年代末、90年代初洁净技术和设备的销售额已突破35亿美元。美国和西欧等先进洁净设备和基础部件的销售额已达73亿美元。据中国电子专用设备工业协会统计，我国主要八家大的净化设备厂的销售额1990年为8217万元，还不足1亿，1993年达到14495万元，占国际市场销售额的0．34％。但随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药工业的发展，我国潜在的巨大的洁净技术产品市场，以每年40％~50％的增长速度在增加。吸附性过滤—活性炭活性炭是一种多孔性的含炭物质,它具有高度发达的孔隙构造,活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，所有的之间都具有相互引力。机械性过滤—HEPA网HEPA中文意思为，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。印刷包装车间净化工程原理：气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程，即可达到净化目的。
美国在的TSMCS新厂已建成管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0．1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电技术的发展。美国ASYST公司、MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微，把投资比例压缩到级别高的微，消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电成品率和可*性的影响作用。电子净化车间是无尘车间中的工业无尘室——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电等)宇航工业、高纯学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。净化等级可根据生产产品的要求做成千级，万级，十万级净化车间等。电是一种处于静止状态的电荷，但是静电并不是静止的电，而是宏观上暂时停留在某处的电。我们生活中比较常见的是，晚上在中服时，经常听到噼啪的声音，还带有蓝色的光。SMT是一种将无引脚或短引线表面组装元器件安装在印制电板的表面或其它基板的表面上，通过回流焊或浸焊等方法加以焊接组装的电装连技术。
在洁净室建设规模和技术水平上，我国与先进差距更大。日本清水建设公司一家，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71．8万平方米，而我国目前一年承建的洁净室总面积还不到10万平方米，但八五期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年统计已达188．5万平方米。在洁净工程技术水平上，80年代末期，国外已大量建成0．1微米级的超净室，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0．1微米尘埃的千级厂房，换气次数高达300次／分。风淋室红外线自动吹淋系统的原理一般来说可以分为两大类，第一类，简单的来说是利用了半导体材料的光电效应，比如当红外辐射进入一个半导体PN结，会引起半导体内部本载流子的激发，在PN结内建电场的作用下产生了电子和空穴的迁移，如果在PN结两端加导线加负载就可以在负载两端测量到电压的变化，以此达到红外的目的。这一类称之为光子红外探测（），知道红外辐射必然伴随着热效应，当有些物体吸收红外辐射以后会引起物体温度的变化。第二类红外的原理就是用红外辐射引起物体温度变化来设计的，称之为热敏红外探测。自动系统的整个智能化线板系统检测人站在区内自动启动所有装置，从而达到自动吹淋。以上所指的非自动门风淋室的自动门系统。食品工业对人员、物料的动线有明确的，不可交叉流动，物料流动需设置专用的物料传递口或传递门。人员流动需走专用的人员通道。按照生产工艺和卫生、质量要求，划分洁净级别，具体级别及要求。
日本也已成为世界上生产0．1微米ULPA过滤器厂家多的，品种繁多，产品系列化，尤其是低压损型0．1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。国际市场对高效空气过滤器的需求量很大，且每年均有增长，目前日本每年销售超过100万台，按每台平均价格200美元计算，销售额达2亿美元。我国高效空气过滤器市场需求量已接近每年10万台，占国际市场的2％~4％，但至今还没有0．1微米ULPA过滤器生产，用于超大规模集成电生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0．1微米ULPA过滤器目前还要依赖进口。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。系统运行客观引起的微尘是指空调洁净系统运行后,由于某些地方积累的尘粒和水分(或者湿度高)就可能会滋生微生物。
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