在近代物理学当中，等离子体是一个较为普遍的概念，它是一种在一定程度上，被电离的气体。通过对检测器探测，这种特征谱线并检测它的强度，能够定性分析元素与定量计算该元素的浓度。日常在使用的过程当中，为了将相关效能，更好地发挥出来，就应当要对等离子体发射光谱仪的性能特点有所了解，相对而言就显得尤为重要。
其一、是一种发射光谱分析方法，可以多元素同时进行测定。发射光谱分析方法，只需要将待测原子，处于激发状态的情况下，即可同时发射出各自特征谱线，同时能够进行测定。无论是多道直读，还是单道扫描仪器，都处于同一试样溶液当中。同时能够对大量元素进行测定，自然界存在的所有元素，都可以进行测定。
其二、光源是一种光薄的光源，自吸现象小。在绝大多数情况下，元素浓度与测量信号呈简单的线性。即可测低浓度成分，同时又可以测定高浓度成分，是充分发挥多元素，同时测定能力的一个尤为重要有价值的分析特性。具有较高的蒸发，原子化及激发能力，并且是无电极放电，无电极沾污。因等离子体光源的异常高温，能够避免一般分析方法的化学干扰，基体干扰等等。绝大多数可以直接测定，让分析操作变得更加简单，实用性相对较强。
其三、采用相应的进样技术，对液态样品直接进行分析。在注重实际工作的需求与效率，让使用者无需在仪器的调整上，消耗时间与精力，继而能够将更多的精力，放在分析测定工作当中。高配置计算机的引入，则可以让仪器在结构上，更加紧凑，功能更加完善。
根据上述分析，人们即可知道，在对电感耦合等离子体发射光谱仪进行使用时，也需要明确具体的性能特点。